脆性材料激光微加工技术

随着时代发展进步，脆性材料应用越来越广，包括手机、IPAD、电视、电脑显示屏，LED和OLED产品以及其他微电子产品，集成电路的玻璃基板、光学器件、医疗设备、半导体等。

传统的机械设备去加工脆性材料，效率跟精度都无法突破，随着脆性材料的不断发展迭代，采用更为先进的激光技术来进行加工，特别是在微精细加工领域显得尤为重要。

经过多年的技术沉淀，在市场高需求的同时，来自市场要求减少加工步骤、减少材料浪费以及干性制程等因素的持续驱动下，许多方法有了实验成果。

如超快皮秒激光切割蓝宝石薄片，能达到表面干净整洁，无碎裂，加工速度快的效果。由此，超快激光技术的发展，将进一步扩大脆性材料的应用领域。

超快激光可应用在玻璃、陶瓷、蓝宝石等脆性材料的切割、钻孔和挖槽上，崩边小，无锥度，效率高，表面光洁度高。除此之外，还可实现材料表面油墨、PVD的去除以及透明材料的多焦点、长焦点隐形切割。

普通激光加工已经无法实现精度0.05mm以内、圆弧R为0.03mm、切割位置间距在0.5mm以内等要求，而皮秒激光切割机激光频率更高、脉宽更小，可实现更快速，更高品质加工。

切割边缘整齐圆滑、光滑无毛刺、无溢胶、无黑边；软件操作直观简单，一键加工到位。高功率、稳定、可靠、可现场更换耗材的激光器，首镭激光比同行的维护成本更低。

超快皮秒激光器（激光功率50W 1-5皮秒，25uj）和超快飞秒激光器（激光功率50W 350-500皮秒，25uj），体积小，重量轻、安全可靠、效率高、温控精度高、噪音低。

皮秒激光和飞秒激光加工更具优势与前景。